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氮分子激光器

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  • 品牌:
  • 产品类别:光学测量仪
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  • 更新时间:2022-03-14 17:00:01
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产品简介

详情介绍
氮分子激光器

PLASMA公司是世界上的气体激光器生产商,其产品主要特点是高质量、长寿命。

氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 357.7 nm315.9 nm

PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其*的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。

性能参数:

型号

NPL-3

LGI-505

LGI-511

波长, μm

0.337

0.337

0.337

脉冲能量, μJ

30

120

240

平均功率, mW
风冷
水冷

3


40
120



240

模式

TEMoo

TEMmn

TEMmn

脉冲重复频率:
风冷
水冷

1-100


5-400
5-1000

1-1000

脉冲宽度, ns

5

6-8

6-8

光束直径, mm

2

5

5

发散角, mrad

-

7

12

制冷

风冷

风冷
水冷

水冷

平均寿命, h

5000

5000

5000

尺寸, mm

590×255×155

激光头:840×343×238
电源:484×510×212

1140×525×345

重量, kg

10

激光头:35
电源:35

105

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