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ATLEX-FBG 系列*

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产品类别：光学测量仪
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更新时间：2022-03-14 17:00:01
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产品简介

详情介绍

ATLEX-FBG 系列*

TMC外壳
电晕预电离技术
固体开关
激光头尺寸＜3I
风冷，热管理
可冲洗光学架
集成4气门系统，便于气体处理
RS485，RS232，USB，FOC接口
带有能量稳定模式
CE欧标，RoHS认证

指标：

气体	ArF	KrF
波长（nm）	193	248
高压开关	固体开关	固体开关
大脉冲能量(mJ)¹⁾	10	15
大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG （W）	2.4 4.0	4.0 6.5
空间相干性（μm）	＞300	＞300
重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (Hz)	300 500
脉冲宽度（ns）	5-8
光束尺寸（V x H）(mm)2)	4x6
发散角（V x H）（mrad）²⁾	1x2
能量稳定性	＜3%
尺寸 (mm)	540x470x370
重量（kg）	60
冷却方式	Air
供电要求	230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase

1）在低频时测量；稳定模式下，允许10%的能量和功率下降

2）典型值，FWHM

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