技术参数 | |
|---|---|
| 设备型号 | ZZDS500 蒸发镀膜手套箱系统 |
| 极限真空 | 5×10-5Pa |
| 抽速 | 大气~5×10-4Pa≤15min |
| 蒸发源 | 6个，金属/有机数量任意搭配 |
| 蒸发源类型 | 蒸发舟or有机、金属束源炉 |
| 样品尺寸 | 210×210mm，向下兼容 |
| 膜厚均匀性 | ≤±3% |
| 均匀性判定 | （Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin）×99% |
| 蒸发距离 | 450mm~550mm可调 |
| 样品温控 | 单加热模式：室温~300℃可调 单水冷模式：10~25℃可调 冷热双温模式：10~200℃可调 |
技术参数 | |
|---|---|
| 设备型号 | ZCJS500 磁控溅射手套箱系统 |
| 极限真空 | 5×10-5Pa |
| 抽速 | 大气~5×10-4Pa≤15min |
| 溅射靶 | 3或4英寸靶，数量≤3 |
| 溅射电源 | 射频/中频脉冲/直流 |
| 样品尺寸 | 150×150mm，向下兼容 |
| 膜厚均匀性 | ≤±5% |
| 均匀性判定 | （Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin）×99% |
| 溅射距离 | 100mm~±30mm可调 |
| 样品温控 | 单加热模式：室温~300℃可调 冷热双温模式：10~200℃可调 |
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