MMLAB-prb系列系列朗缪尔探针系统

等离子体诊断：MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统

MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，简化了硬件结构，抗干扰性强，工作可靠，能够用于各种放电形式的等离子体诊断。其中MMLAB-prb1型为通用型；MMLAB-prb1a型为功能扩展型，可用于诊断射频等离子体；MMLAB-prb2型是双探针型，可适用于无极放电等离子体，对等离子体扰动小；MMLAB-prb3型是三探针型，可用于等离子体快速诊断（可达亚微秒级）及等离子体参数实时监控； MMLAB-prb-hmc型是谐波探针型，可用于绝缘薄膜沉积环境的等离子体诊断和等离子体参数实时监控； MMLAB-prb-ems型是发射探针型，用于准确测量等离子体及鞘层内的空间电势。

基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法已申报国家发明。仪器已在国内外多家实验室和企业的等离子体设备上获得了应用。