产品概述
椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。
特色功能
。支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告
。支持193-2500nm全波段分析测量
。支持多椭偏方案，多组合集成
。支持测头模块以及样件机台定制化
应用场景
应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
集成测头规格：
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