产 品 说 明
特点：
1.支持多尺寸晶圆:3/4/5/6/8英寸
2.设定参数均可调整
3.参数设定修改均可通过触摸屏实现
4.客户模式均可自由更改
5.工作盘转速范围：0-3000转/分钟
性能：
工作盘马达 交流感应马达
摆臂马达 交流伺服马达
干燥方式 旋转
清洗方式 二流体清洗
显示 5英寸触摸屏，操作/编辑数据，显示错误信息等
操作键 开始/停止，紧急停止
电源 交流220-230伏特 50/60赫兹
压缩空气 0.45-0.65 兆帕
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