lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C
用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。
用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合规的，可以通过EtherCAT通信进行控制，EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。
半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的原始环境温度补偿流量传感器作为标准安装，并且可以作为液化气支架等选项添加。
特点
准确度±1%SP
金属密封件
清洁（保证颗粒）
环境温度保证传感器
EtherCAT通信
选择
微流 F.S.
兼容液化气
宽
使用示例
EtherCAT通信设备的通信统一
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信（数字I / F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通信有65，536个节点，MFC的所有测量系统和运动系统元件都可以与EtherCAT通信统一。
lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C
规格
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | sdaM |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | 金 |
* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。
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