lintec高温质量流量控制器MC-3000L-TC
高温质量流量控制器，适用于最大流量控制为120°C、断电最高为150°C的环境中。
通过将高温气体接触部分与热敏基板部分分离，可以在高温下控制气体。
块体采用SUS-316L，金作为密封材料，应对腐蚀性气体。
作为选项，还可以选择防止液化气体再液化的低压差规格和专用于加热气体接触部分的MFC加热器块。
特点
最高工作温度最高120°C
金属密封件
清洁（保证颗粒）
RS-485 通信
选择
兼容液化气
加热块
使用示例
液化气、升华气流量控制
CVD 和 ALD 的源气体不一定是室温和压力下的气体。 液体或固体原料通常在室温和压力下使用。 液体和固体在室温下产生的气体较少，因此很难使用MFC控制流量，MFC使用压差来流动气体。 因此，MFC的工作压力是通过加热原料罐并增加蒸汽压力以产生压差来确保的。 MC-3000L-TC 能够进行高温控制和低压差工作压力，是液化和升华气体流量控制的理想选择。
lintec高温质量流量控制器MC-3000L-TC
规格
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | 密封 | |
| 低 | 80~100°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
| 高 | 100~120°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。
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