ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X
ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X
管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。
特点
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
真空计等配件可以安装在同一个架台上。
空冷型，不需要冷却水。
带有轮子，易于移动。
配有调节器，可以确保安装的安全性。
规格
| 型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮时） |
主泵 | 油扩散泵（空冷） 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 （W×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。
特点
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
真空计等配件可以安装在同一个架台上。
空冷型，不需要冷却水。
带有轮子，易于移动。
配有调节器，可以确保安装的安全性。
规格
| 型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮时） |
主泵 | 油扩散泵（空冷） 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 （W×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
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