ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪YTP70A
特点
考虑到在台面上使用的环境,
降低了运转时的噪音、振动。低噪音
运转声音在43dB以下,十分安静。(空载运行时。ICF法兰型。本公司测定。)]小型、轻量设计
出色的操作性
配备触摸屏,提高了操作性。无需真空计专用显示机
可以读取真空计的信号并显示在操作屏幕上。最多可连接两个真空计。适用标准
CE、cTUVus操作性
通过简单易懂的显示图标,可简单的操作
用途
各种实验、研究的高真空排气系统
从大气压至高真空的排气系统
其他所有的高真空排气用途
规格
型号 | YTP70A-D | ||
到达压力 *1 | Pa | 10-6 | |
排气速度 *2 | N2 | L/s | 70 |
He | L/s | 60 | |
H2 | L/s | 49 | |
辅助泵排气速度 | L/min | 20 | |
质量 | kg | 17.5 | |
噪音 *3 | dB | 43 | |
输入电压 | 单相 AC 100~240V(50/60Hz) | ||
电源容量 | 300W(50/60Hz) | ||
标准附属品 | 安装说明书(CD-R),I/F连接端口,保护网,密封垫片 | ||
外部选配件 | AC电缆(3m) *4 | ||
适用规格 | CE,cTUVus |
系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
用途
真空吸盘,晶圆和处理设备。
真空镊子,科研。
印刷设备。
自动包装机。
光学器具。
半导体行业。
注塑机。
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计
特点
价格低廉,销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力(良好的真空)。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
大气压力下可运作。
结构简单,维护方便。
Unit 50Hz 60Hz 有效排气速度L/min 120 145 极限压力Pa (kPa) 3.3×10 3 (-98.0) 使用电动机単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run 全负荷电流A 4.8 5.8 重量kg 26.0 吸・排气口径mm ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) 使用环境温度范围℃ 0~40 最大尺寸mm 193.5(W)×411(L)×285(H)
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