ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 泵 DTC-22K
ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 泵 DTC-22K
通过橡胶薄膜(膜片)的往复运动而排气的真空泵。 结构简单,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。
特点
所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料。
适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。
高真空至1000Pa。
小型。
规格
| 项目 | 单位 | 50Hz | 60Hz |
| 实际抽速 | L/min | 40 | 46 |
| 极限压力 | Pa | 1.0×103 | |
| kPa | -100.3*1 | ||
| 电机 | W | 100 | |
| 重量 | kg | 10.2 | |
| 进出气管道直径 | mm | O.D.φ9×I.D.φ6 (G 1/4) | |
| 环境温度 | ℃ | 0～40 | |
| 尺寸 | mm | 136(W) × 288(L) × 202(H) | |
| RoHS对应 | ● | ||
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
型式 MS120A MS600A MS1200A 最大排气速度 *1 m3/h 115 560 980 到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1 电源电压 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷却水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 最大水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排气口 KF40 质量 *4 kg 139 241 264 适用规格 CE、cTUVus
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