设计特点：
A. 直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 高强度机械性能
D. 双边驱动设计
E. 双驱双反馈/双驱单反馈
GHD平台（大理石双驱龙门平台），采用雅科贝思直线电机驱动。具有高精度，高强度机械性能的特点。两种方案选择，双驱单反馈，以及双驱双反馈。双驱双反馈适合横梁跨度较大或者精度要求较高的应用。双驱单反馈适合横梁跨度较小或者精度要求较低的应用。
| 规格参数 | 型号 | GHD510 | |
| 驱动类型 | T 或 H | ||
| 轴 | 横梁轴 | 龙门轴 | |
| 电机 | ACM1-L50 | ACM3-S1 | |
| 性能参数800 | 单位 | ||
| 连续力，线圈@100℃ | N | 160 | 293 |
| 峰值力 | N | 692.4 | 878 |
| 电机常数 | N/SqRt(W) | 22.6 | 29.4 |
| 连续功率 | W | 50.3 | 99.1 |
| 峰值功率 | W | 936.2 | 891.6 |
| 电气周期 | mm | 20 | 42 |
| 线圈温度 | ℃ | 130 | 130 |
| 连续电流 | Arms | 4.2 | 4.8 |
| 峰值电流 | Arms | 19.2 | 14.4 |
| 力常数 | N/Amrs | 38.2 | 61.0 |
| 反电动势常数 | Vpeak/（m/s） | 31.2 | 49.8 |
| 电感 | mH | 10.4 | 38.0 |
| 电阻@25℃ | Ohms | 2.85 | 4.30 |
| 磁吸引力 | N | 1619 | 1.45 |
有效行程
| 轴号 | 有效行程（mm） | 运动质量（Kg） | 总质量（Kg） | 传感器位置（mm） |
| 横梁轴 | 510 | 4.6 | 29 | 514 |
| 下轴 | 510 | 34.8 | 103 | 514 |
注：龙门结构的质量约为778Kg。
性能参数
| 规格参数 | 单位 | GTD 400*200 |
| 2直线度 | μm | ±2.5μm/100mm，NTE±10μm for FS |
| 2平面度 | ±2.5μm/1005mm, NTE±10μm for FS | |
| 重复精度（0.1μm分辨率） | ±1 | |
| 重复精度（0.5μm分辨率） | ±2.5 | |
| 重复精度（1μm分辨率） | ±5 | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5 | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
注： 2.数据测量环境：平台安装在5um平面度的花岗岩上，负载8Kg。
| 规格参数 | 型号 | GHD620 | |
| 驱动类型 | T 或 H | ||
| 轴 | 横梁轴 | 龙门轴 | |
| 电机 | ACM1-L50 | ACM1-L50 | |
| 性能参数 | 单位 | ||
| 连续力，线圈@100℃ | N | 182 | 182 |
| 峰值力 | N | 831.4 | 831.4 |
| 电机常数 | N/SqRt(W) | 25.6 | 25.6 |
| 连续功率 | W | 50.3 | 50.3 |
| 峰值功率 | W | 1050.6 | 1050.6 |
| 电气周期 | mm | 20 | 20 |
| 线圈温度 | ℃ | 130 | 130 |
| 连续电流 | Arms | 4.2 | 4.2 |
| 峰值电流 | Arms | 19.2 | 19.2 |
| 力常数 | N/Amrs | 43.3 | 43.3 |
| 反电动势常数 | Vpeak/（m/s） | 35.4 | 35.4 |
| 电感 | mH | 10.4 | 10.4 |
| 电阻@25℃ | Ohms | 2.85 | 2.85 |
| 磁吸引力 | N | 1619 | 1619 |
有效行程
| 轴号 | 有效行程（mm） | 运动质量（Kg） | 总质量（Kg） | 传感器位置（mm） | 传感器位置（mm） |
| 横梁轴 | 620 | 4.6 | 29 | 624 | 630 |
| 下轴 | 620 | 38.3 | 122 | 624 | 630 |
注：龙门结构的质量约为778Kg。
性能参数
| 规格参数 | 单位 | GTD 400*200 |
| 2直线度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±10μm for FS |
| 2平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm for FS | |
| 重复精度（0.5μm分辨率） | ±4 | |
| 重复精度（1μm分辨率） | ±5 | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5 | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
注： 2.数据测量环境：平台安装在5um平面度的花岗岩上，负载8Kg。
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