AFXS直线电机平台：参数
| X轴 | Y轴 | |
行程 | 70mm | 70mm |
| 分辨率 | 50nm | 50nm |
| 定位精度 | ±2μm | ±2μm |
| 重复度 | ±0.75 μm | ±0.75 μm |
| 平面度 | ±3.5 μm | |
| 直线度 | ±3.5 μm | |
| 速度 | 200 mm/s | |
| 建议负载重量 | < 1 Kg | |
| 中空尺寸 | 90 * 110 mm | |
XY轴正交度 | 10 arc sec | |
杭州摩森机电科技有限公司
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直线电机平台用于晶圆、蓝宝石等检测，由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动；XY轴采用交叉滚柱导轨，中空结构，内置光栅系统。分辨率50nm，重复定位精度可达士0.75um，定位精度2um；有效行程70*70mm，速度200mm/s；可定制。
AFXS直线电机平台：参数
| X轴 | Y轴 | |
行程 | 70mm | 70mm |
| 分辨率 | 50nm | 50nm |
| 定位精度 | ±2μm | ±2μm |
| 重复度 | ±0.75 μm | ±0.75 μm |
| 平面度 | ±3.5 μm | |
| 直线度 | ±3.5 μm | |
| 速度 | 200 mm/s | |
| 建议负载重量 | < 1 Kg | |
| 中空尺寸 | 90 * 110 mm | |
XY轴正交度 | 10 arc sec | |
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