超导纳米线单光子探测器SNSPD器件由中科院上海微系统所（SIMIT)研发。上海微系统所自2007年开始开展SNSPD研发工作，具有水平的超导器件工艺平台，实现了从薄膜材料、器件设计和加工的全自主研发。SNSPD器件在探测效率、暗计数等方面的性能指标屡创世界纪录，目前SNSPD系统效率可以达到95%以上；片上集成滤波器SNSPD器件，实现暗计数≤1Hz，探测效率≥80%的高性能器件，已获中、美、日。
| ● 探测效率高:＞95% | ● 计数率高：＞100MHz |
| ● 暗计数低:＜1Hz | ● 时间抖动小:＜20ps |
| ● 高稳定性 | ●个性化定制 |
参数细节
波长 | 1550nm | 1064nm | 850nm | 532nm |
效率（典型值） | 80% | 80% | 80% | 80% |
效率（值） | 90% | 85% | 85% | 85% |
暗计数（典型值） | 100Hz | 100Hz | 100Hz | 100Hz |
暗计数（值） | 1Hz | 1Hz | 1Hz | 1Hz |
抖动（典型值） | 40-50ps | 40-50ps | 40-50ps | 40-50ps |
抖动（值） | 20ps | 20ps | 20ps | 20ps |
计数率（典型值） | ＞20MHz | ＞20MHz | ＞20MHz | ＞20MHz |
计数率（值） | 100MHz | 100MHz | 100MHz | 100MHz |
① 所有性能参数为2.2 K工作温度下测试结果； ② 可根据用户需求定制。 | ||||
探测效率和暗计数率曲线
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波长1550nm | 波长1064nm |
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波长850nm | 波长532nm |
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