H30-UVL是一款设计*的真空紫外光谱仪，小角度入射光路中采用超环面光栅，在整个光谱范围内保持极低的像差和高光通量，可二维成像。H30-UVL运用灵活，只要更换出射端的狭缝和法兰，就可以分别实现单色仪和摄谱仪功能。
主要特点
单光学元件设计，光损失最小化
采用超环面光栅技术，实现25mm平像场
单块光栅即可实现50-300nm高灵敏度采谱
只需换狭缝和法兰，即可实现单色仪和摄谱仪两种功能。
标准配置
| 光学设计 | Toroidal VLS Grating (single optic) |
| 焦距 | 274 mm |
| 孔径 | f/6 |
| 光栅刻线密度 | 1200 gr/mm |
| 光栅类型 | Replica (Master in option) |
| 光学镀膜 | AlMgF2 optimized at 121 nm or Pt |
| 偏离角 | 70° |
| 线色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
| 驱动 | Fast worm drive |
| 分辨率 | Better than 0.2nm (*) |
| 真空度 | A few 10-6 mbar |
应用领域
激光高次谐波（HHG）
极紫外反射/透射
等离子体发射光谱
可调谐真空紫外光源
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