设备简述
ZY-1185多弧离子真空镀膜机是用于在各种工具、刀具、抗磨零件等表面涂装硬质或超硬质耐磨涂层的专用设备，具有产能大、效率高、运行成本低、操作简单、镀膜质量好等优点。
ZY-1185多弧离子真空镀膜机主控系统采用PLC方案，操作系统采用人机界面(触摸式)控制系统，设备可控性，抽真空、镀膜可实现手动、半自动、全自动操作，PLC可记录设备的详细工作过程，具有故障报警、安全保护功能。本机合理配备多套研制的阴极电弧，有效保障弧源溅射的稳定性与均匀性，同时采用*的多路进气系统，精准控制气体流量，满足客户多种化合物膜层需求。另外，本机还装载大功率脉冲偏压电源，能极大提高电离子能量，保证离化率高、离子能量大、沉积速度快，从而获得优秀的膜层结合力和光洁度。
ZY-1185可在各种金属、合金、导电材料甚至非导电材料基体表面镀制金属膜、多元合金膜、化合物膜例如TiN，CrN，TiCN，TiAIN，AITiN，TiAICrN，TiAICN，AICrN等。这些硬质耐磨涂层作为超硬抗磨损保护膜被广泛应用于钻头、铣刀、齿轮刀具、拉刀、丝锥、剪刀、刮面刀片、汽车的耐磨件以及医疗器械等，极大提高了工具模具的耐磨损能力，延长了使用寿命，降低了生产成本，提高了加工精度，同时允许客户定制各种参数以获得所需的特定工具的表面。
ZY-1185多弧离子真空镀膜机在国内外多家用户处经受了大批量生产和长期使用的考验，具有强大的适用性和通用性，同时，其*的设备稳定性和性价比也赢得了客户的诸多赞誉。
设备特点：
1.电弧在靶材整个表面做快速移动，靶材表面被均匀刻蚀，优化了涂层结合力，涂层表面光滑致密，且具有优异的涂层附着力。
2.拥有更快的批次周转效率和涂层生产效率，在有效镀层范围内涂层厚度均匀。
3.高质量的硬质涂层允许工具具有更高的切削和进料速度，并由于延长使用寿命而减少了更换工具的时间，从而降低了总加工成本。
4.涂层的摩擦性和硬度允许减少润滑和冷却，保证加工零件的表面质量更好。
设备参数
炉体尺寸 | φ1100*H850 | 有效空间 | φ550*H500 |
工件直径*数量 | φ150*8个 | 溅射阴极 | 12ARC |
工作电压/频率 | 380V/50Hz | 实际功率 | 50KW |
应用技术 | HCD+ARC | 靶材数量 | 12个 |
极限压力 | 5.0*10-4Pa | 漏率 | <10-3Pa.L/s |
抽气时间 | 大气到4*10-3 <20分钟 | 弧源数量 | 12个 |
标准涂层 | TiN、CrN、AlTiN等 | 其它复合涂层 | TiSiN、TiAlCrN、TiAlCN等 |
工件转架结构 | 下转架结构 | 真空室结构 | 立式单开门 |
电源类型 | 弧电源、脉冲偏压电源、电子枪电源 | 真空系统 | 分子泵、罗茨泵、旋片泵 |
生产周期 | 3-5小时/炉 | 外围尺寸 | L4000*W3200*H2200MM |
产量/炉 | 铣刀φ10*70 680 刀粒φ18*6 5000 滚刀φ80*80 48 模具500KG | 配套条件 | 水量：10T/H 压缩空气：4-6 KG/CM3 |
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC 自己开发的镀膜专用软件 | 工作气体 | Ar、N2、O2、C2H2等 |
备注 | 真空室尺寸，外围尺寸，设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做 | ||
涂层 | 颜色 | 纳米硬度（HV0.05） | 摩擦系数 | 涂层厚度 um | 使用温度℃ | 结构 | 主要特点 | 应用 |
TiN | 金黄色 | 2400 | 0.40 | 1-4 | 500 | 单层膜 | 通用的硬质涂层 | 主要用于车削、铣削、钻削及齿 轮类 刀具的耐用涂层和成型、 注塑模 的防粘连，提高润滑性 及耐磨保护 涂层。 |
CrN | 银灰色 | 2000 | 0.40 | 1-4 | 700 | 单层膜 | 通用的耐腐蚀膜层，低粘附倾向 | 具有良好的抗粘结性，抗腐性，耐磨性。几乎适合加工所有材 料，包括高硅铝、不锈钢、高 镍合 金、钛和复合材料、注 塑模具、零 件、橡胶模具、硅 胶模具、半导 体封装模具等。 |
TiCN | 蓝灰色 | 3000 | 0.20 | 1-4 | 400 | 梯度复合膜 | 低摩擦系数，高硬度 | 在TiN基础上，提高了涂层的硬度、 并降低摩擦系数，主要用于高速 钢刀具、冲压模具、成型模具。 |
TiAlN | 紫红色 | 3500 | 0.40 | 1-4 | 850 | 单层复合膜 | 通用的硬质抗氧化涂层 | 红硬性良好，表面光洁度高，可用 于高速加工。适合模具钢、HSS、 硬质合金工具（加工材 料硬度低于 HRC45）、薄壁件 冲压模具。 |
AlTiN | 紫黑色 | 3800 | 0.45 | 1-4 | 900 | 多层复合膜 | 超高硬度，抗氧化 | 具有*的微硬度，热硬度。适合 于具有高热应力的工具涂层，并 具备良好的耐热冲击性，有 快 速间断切削应用的优先选择。广 泛用于硬质合金工具（加工 材料 硬度低于HRC45）、压铸模具。 |
TiAlCrN | 灰色 | 3300 | 0.70 | 1-3 | 800 | 多层复合膜 | 高硬度，抗氧化，抗冲击 | 中等切削速度下的硬质材料机械加工 |
TiAlCN | 枚红色 | 3500 | 0.20 | 1-4 | 800 | 梯度复合膜 | 高硬度，抗氧化 | |
AlCrN | 灰黑色/深灰色 | 3200 | 0.35 | 1-4 | 1100 | 单层膜 | 非常高的抗氧化温度和红硬性 | 高速下的硬切削，中到高硬度材 料的铣削、滚铣，由于几何 体产生高冲击负载的工具上的应用 |
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