KJ-T1600 CVD 是一种管式炉，具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
技术参数：
| 产品名称 | 3通道CVD设备 | |
| 型号 | KJ-T1600 -3M | |
| 管式炉部分 | 显示 | 液晶触摸屏 |
| 温度 | 1600℃ | |
| 工作温度 | ≤1500℃ | |
| 升温速率 | 0~10℃/min | |
| 温区 | 300mm | |
| 加热元件 | MoSi2 | |
| 热电偶 | B型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 80x1000mm | |
| 材质：氧化铝管 | ||
| 塞砖 | 包括两个纤维陶瓷块，用于阻挡来自管内的热辐射（陶瓷块必须在加热前*插入炉腔）。 | |
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 | |
| 电源 | 220V, 50 Hz, 单相6KW | |
| 质量流量计 （液晶触摸屏） | 三台精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围0~100 sccm MFC 2：气体流量范围0~200 sccm MFC 3：气体流量范围0~200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合 | |
| 更多参数可按需定制 | ||
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