有两种尖刺材料的选择:类金刚石(HiRes-C) 或钨(HiRes-W)
DP14/Hi’RES/AlBS 针尖参数.
尖刺材料 | 类金刚石 | 钨 |
尖刺半径 | 小于1nm | 1nm (范围0.5~3 nm) |
刺高度 | 100 - 500 nm | 100 - 500 nm |
* 离针尖*zui后200 nm处的锥角度可能小于40°
* 硅表面有不导电的厚度为1.4nm的自然氧化薄膜层
* 硅表面有不导电的厚度为1.4nm的自然氧化薄膜层
DP14/Hi’RES/AlBS 悬臂参数.
悬臂长度, 1±5 µm | 125 |
悬臂宽度, w±3 µm | 35 |
探针半径, nm | 1 |
力常数, N/m | 5.7 |
共振频率, kHz | 160 |
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