硅刻蚀探针应用于获得形貌像和对材质敏感的反差像。
NSC36/AlBS 针尖参数.
| 通常针尖半径, nm | <10 |
| 针尖锥度*, ° | 40 |
| 针尖总高度, µm | 20 - 25 |
| 探针材料 | N型硅（掺磷） |
| 探针总体阻抗** | 0.01～0.05欧姆•厘米 |
* 离针尖*zui后200 nm处的锥角度可能小于40°
* 硅表面有不导电的厚度为1.4nm的自然氧化薄膜层
* 硅表面有不导电的厚度为1.4nm的自然氧化薄膜层
NSC36/AlBS 悬臂参数.
| | A | B | C |
| 悬臂长度, 1±5 µm | 110 | 90 | 130 |
| 悬臂宽度, w±3 µm | 35 | 35 | 35 |
| 探针半径, nm | 10 | 10 | 10 |
| 力常数, N/m | 0.95 | 1.75 | 0.60 |
| 共振频率, kHz | 105 | 155 | 170 |
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