仪器简介：
手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率；手动调节测试过程中的起偏和检偏角度。椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中，它是能测量到和精度的一类。
实验内容：
1、了解并熟悉仪器的工作原理和性能
2、掌握如何利用设备测试样品的方法
主要配置和参数：
序号 | 名称 | 规格和参数 |
1 | 测量范围 | 1nm-300nm |
2 | 测量最小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°-90°误差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角读数范围 | 0°-180° |
5 | 度盘刻度 | 每格2度 |
6 | 游标最小读数 | 0.05° |
7 | 光学中心高度 | 152mm |
8 | 工作台直径 | Φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm*230mm*290mm |
10 | 主机重量 | 20kg |
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