仪器简介：
LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率，吸收系数等；采用软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪。是薄膜研究，光学镀膜，和半导体生产的测量研究仪器。
实验内容：
1、学会薄膜和涂层的厚度测量及折射率和吸收系数的测定
主要配置和参数：
序号 | 名称 | 规格和参数 |
1 | 厚度范围 | 20nm-50um(只测膜厚），100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同 |
2 | 准确度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重复性 | 0.1nm |
4 | 波长范围 | 380nm-1000nm |
5 | 可测层数 | 1-4层 |
6 | 样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
7 | 测量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
9 | 样品台 | 290mm*160mm |
10 | 光源 | 长寿命溴钨灯（2000h） |
11 | 光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
12 | 探测器 | 进口光纤光谱仪 |
13 | 电源 | AC100V-240V,50Hz-60Hz |
14 | 重量 | 18kg |
15 | 尺寸 | 300mm*300mm*350mm |
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