产品简介
产品详细介绍详细参数内容规格A.一般规格电力系统AC380V350/60HZ75A22KVA光源系统光源:间接水冷式金属卤素灯
详情介绍
内容 | 规格 |
A.一般规格 |
电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ 75A 22KVA |
光源系统 | 光源:间接水冷式金属卤素灯,10KW |
均匀度:≥85% 有效曝光面积:22"*25" |
照度:65mw/cm²以上 |
Panel规格 | 尺寸:12"*14"至22"*25" |
底片尺寸:24"*28"(610mm*711mm) |
厚度:0.2mm至3.0mm |
曝光作业 | 单面双框作业,顺序进入曝光室 |
底片对位系统 | 1.CCD数量:4个 |
2.CCD功能:对位准度及底片涨缩检查 |
3.对位形式:PCB自动对位 |
4.底片固定:双沟槽式真空吸附,真空度-680mmHg以上 |
5.靶标形式:上底片圆点,PC板PAD |
6.制程固定:Pin定位 |
7.制程板对位:自动对位±12.5μm(机台能力) |
操作方式 | 作业方式:人工取放板 |
机台尺寸 | 外部尺寸:W1545*D3312*H2372mm |
外部变电箱尺寸:W810*D830*H980mm |
B.系统架构 |
曝光台框 | 双曝光台面,玻璃VS金属 |
曝光控制器 | 智慧型人机介面及曝光能量控制 |
台面真空 | -200~-400mmHg |
冷却 |
灯室:循环间接水冷式(水套式) |
曝光室:强制气冷式,抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 |
洁净控制 | 洁净度等级:Class 1000 HEPA过滤网 |
客户提供环境及周边设备 | (1).室温22℃±2℃,湿度55%±5%之清洁环境 |
(2).冷却水塔:10吨、流量120L/min、进水温度20~30℃(依现场配管计算)或 |
冰水系统:5吨、流量60L/min、进水温度7~11℃(依现场配管计算) 进出水管径1-1/4"、排水管3/4" |
(3).内部循环水:蒸馏水60L |
(4).外接气源:6Kgf/cm²(流量60~120L/min)管径φ10快速接头 |
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