产品简介
产品详细介绍详细参数内容规格A.一般规格电力系统AC380V350/60HZ平行光系统光源:Hg-Xe短弧灯
详情介绍
内容 | 规格 |
A.一般规格 |
电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ |
平行光系统 | 光源:Hg-Xe短弧灯,输出功率5KW,单灯,双面曝光 |
平行半角(CHA):约2° 倾斜角(DA):<2° |
均匀度:≥85% |
强度:15mw/cm²@ 365 nm在玻璃台面上量测 有效曝光面积 :546*622mm(21.5"*24.5") |
Panel规格 | 尺寸:305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5") |
厚度:0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117") |
曝光作业 | 高强度/双面曝光 |
对位系统 | 1.CCD数量:4个(可自行设定2只/3只CCD对位或底片监控) |
2.清底片警报功能程序(片数可设定) |
3.可选择单面曝光 |
4.任取CCD取像判读( ) 固定取像CCD判读( ) |
5.制程板对位:自动对位±20μm 6.CCD移动:自动到位 7.底片固定:双沟槽式真空吸附 |
8.底片对位:自动对位可程序时间设定曝光3组,可程序能量设定曝光4组 |
曝光量设定 | 操作系统:大型触摸屏操作接口(PC+PLC) |
操作方式 | 外部尺寸:L3390*W1545*H2270 |
机台尺寸 | 环控箱:L1300*W700*H1930 |
B.系统框架 |
曝光台框 | 双曝光台面,玻璃VS玻璃(真空吸嘴φ8mm) |
内建台框玻璃真空保护装置 |
冷却 | 灯室:由环控箱吹入灯箱冷却 |
曝光室:气冷,抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 |
洁净控制 | 洁净度等级:Class 1000 HEPA 高效滤网 |
UV光源监控 |
光源保护:UV灯源点灯/熄灯/重点灯保护 |
功率控制:D/A转换瓦数微调输出 |
状态监视:内建电压、电流、功率及UV强度传感器 |
遮光器:横向开启,装置于灯室内 |
曝光监控:内建UV能量积算器 |
客户外围设备 | 规格1.电力:NFB40A 2.气压源:5kg/cm²以上 |
4.冰水系统:7-11℃/40|/min,1"管径*2,1/2"管径*11.内建内层三明治及CCD曝光模式 |
2.制程板固定Pin种类 |
φ1.98( )φ2.02( )φ3.125( )φ3.0( ) |
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