沟槽腐蚀机-

概述

1.1 设备概况：

主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对si片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。

1.1.1 设备名称：沟槽腐蚀机

1.1.2 设备型号：-SC-N601

1.1.3 整机尺寸(参考)：约2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；

1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸

1.1.5 设备形式:室内放置型;

1.1.6 操作形式：手动

1.2 设备组成

该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成

设备工艺走向：参照本方案台面布局图

1.3 设备描述

●此装置是一个半自动的处理设备。

●8.0英寸PROFACE 人机界面显示 / 检测 / 操作

●主体材料：10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；

●化学槽槽体材料：德国劳士领 10mm PVDF板；

●纯水槽槽体材料：德国劳士领 10mm NPP板；

●台面板为10mm PP板（带有菱形漏液孔）；

●DIW主管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，支管路及阀件采用PFA材质，需满足18M去离子水水质要求；酸 碱管路材质为进口PFA/PVDF；

●采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成

●排风：位于机台后下部

●工作照明：上方防酸型白光照明

●欧姆龙/三菱 PLC控制。

●安全考虑：

1. 设有EMO(急停装置)，

2. 强电弱点隔离

3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面

4. 电控箱正压装置（CDA Purge）

5. 设备三层防漏 楼盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内

6. 排放管路加过滤装置

7 排液按钮具有连锁功能。启动排液时，同时切断泵启动。

8 槽内配液位开关，无液不循环。

半导体设备；

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