产品功能
● 闭合工艺腔体起到安全保护作用，材质 PP(SMD) 或不锈钢 (SMD-E)
● 腔体能容纳片子尺寸 200 mm
● 转速 3000 转，误差 +/-1 （依赖于基板尺寸和重量）
● 电驱动喷洒手臂，可静态或动态显影包含显影管路和溶剂罐
● 手臂上有去离子水清洗和氮气吹干机械式固定基板
选配功能
● 额外的显影管路（最多 4 路）
● 两个显影手臂
● 可加热显影罐（2 升）
● 不同大小材质的喷嘴（PEEK，不锈钢，0.3/0.5/0.8 mm）
上海德竹芯源科技有限公司
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对曝光后的光刻胶进行显影是很关键的一步，因此需要谨慎选择显影工艺和显影剂。半自动显影机 SMD-200 可保证即使再厚的胶层均可实现高超的显影工艺效果，低化药消耗及可靠的重复性。SMD 系统可以用于清洗、显影和刻蚀。
产品功能
● 闭合工艺腔体起到安全保护作用，材质 PP(SMD) 或不锈钢 (SMD-E)
● 腔体能容纳片子尺寸 200 mm
● 转速 3000 转，误差 +/-1 （依赖于基板尺寸和重量）
● 电驱动喷洒手臂，可静态或动态显影包含显影管路和溶剂罐
● 手臂上有去离子水清洗和氮气吹干机械式固定基板
选配功能
● 额外的显影管路（最多 4 路）
● 两个显影手臂
● 可加热显影罐（2 升）
● 不同大小材质的喷嘴（PEEK，不锈钢，0.3/0.5/0.8 mm）
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