日本爱发科干真空泵GR系列:GR60AGR90AGR180A真空泵维修保养
特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内; 适用于需要高吞吐量的装卸锁室; 采用通用感应电动机,防爆电动机是一种可行的选择; 电机功率:订购时所需的电压,可提供交流200 V级或多台电压电动机。
基于LR/HR系列多年的设计经验,ULVAC开发了GR系列干式真空泵,为一般工业应用提供简单、清洁的设计。
【特征】
特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内。
适用于需要高吞吐量的装卸锁室。
采用通用感应电动机,防爆电动机是一种可行的选择。
电机功率:订购时所需的电压,可提供交流200 V级或多台电压电动机。
【应用领域】
空气、惰性气体等清洁气体真空抽吸。
各种沉积设备的装卸锁室。
一般工业用途有真空干燥机、真空气体交换、真空隔热、充气、真空除气等。
【规格】
型号 | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
HZ | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |
Z大抽运速度 | m3/h | 62 | 80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
极限压力 | 5.0Pa*1 | ||||||
3.7 x 10-2Torr*1 | |||||||
5.0 x 10-2mbar*1 | |||||||
Z大入口压力 | 大气压力 | ||||||
Z大排气压力 | 1.0Pa至大气压 | ||||||
7.5 x 10-3Pa到大气压 | |||||||
1.0 x 10-2毫巴到大气压 | |||||||
进气口 | VG 50或ISO63F | VG 80或ISO80F | |||||
排气口 | NW 40 | ||||||
表面处理 | 标准选项 | ||||||
重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
冷却水 | 供应压力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
14.5 to 43.5psi | |||||||
进/出差压 | >0.1MPa | ||||||
>14.5psi | |||||||
温度 | 10至30 ℃*2 | ||||||
50至86℃ | |||||||
流量 | >5.0L/m | ||||||
氮气 | 一次侧供给压力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
14.5 to 72.5psi | |||||||
二次侧调节压力*3 | 0.05至0.1(工作时) | ||||||
7.3 to 14.5psi | |||||||
轴 | 5SLM *4 |
*1 极限压力是氮气(轴封气体)在5.0SLM时的值
*2非凝结。
*3压力表上显示的数值由气体调节器调整。
*4氮气流量(轴封气体)固定在5.0SLM。
订购时,请从下表中电机电压。200伏特级电动机或多伏电动机
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