干真空泵LS系列
高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间; 低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是业界的0.6kW或更少(LS120A-C); 低噪声——内置消音器可降噪达61 dB(A)或更低的噪声水平; 低运行成本。
干真空泵LS系列是一系高泵速、低功耗的真空泵。可根据应用情况选择泵速的型号。
【特征】
高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间。
低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是业界的0.6kW或更少(LS120A-C)
低噪声——内置消音器可降噪达61 dB(A)或更低的噪声水平。
低运行成本
无轴密封气体※净化气体可用L型
四种型号
泵速120~1200 m~3/h级※有机械增压泵的情况下
可根据应用情况选择泵速的型号
【应用】
2种特定应用类型
C型:清洁工艺(LS*A-C)
特点:低功耗模式(内置ECO-SHOCK)。
用途:用于空气和氮气等清洁处理。
溅射/气相沉积/分层/负载锁室/TMP支持泵等。
L型:光处理(LS*A-L)
特点:轻量化工艺模型(具有表面处理和净化功能)。
用途:适用于蒸汽、挥发性液体等轻工加工,真空干燥/冷冻干燥/灰/一般工业用途等。
【规格】
Model | C型 L型 | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
C | L | C | L | C | L | C | L | |||
Z大泵速 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
极限压力 | Pa | <=0.6 | <=0.1 | |||||||
电源 | 200V Class:3Phase,50/60Hz,AC200-240V or 400V Class:3Phase,50/60Hz,AC380V-480V | |||||||||
功耗*1 | kw | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
冷却水流速 | L/min | >2.0 | >4.0 | |||||||
净化气体流速*2 | SLM | -- | 0~50 | -- | 0~50 | -- | 0~50 | -- | 0~50 | |
Z大水汽容量*3 | kg/h | -- | 1.5 | -- | 1.5 | -- | 1.5 | -- | 1.5 | |
噪声 | DB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
进气口 | KF50/VG50 | ISO-F-80 | ISO-F-80 | ISO-F-80 | ||||||
出气口 | KF40 | |||||||||
尺寸 | mm | 311x639x307 | 311x639x537 | 311x639x563 | 311x639x563 | |||||
质量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
适用标准 | CE、cTUVus | |||||||||
标准附件 | 说明手册(CD-R)、电源接头、防水电缆夹、远程连接器、 电源连接器保护 | |||||||||
泵头选项 | 电源:200V级or 400V级,密封材料:FFKM(仅供L型) | |||||||||
外部选择 | MBP入口法兰适配器、分组排气口、防震支架、lr兼容单位(入口、远程)、排气阀 |
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