低温等离子体是继固态、液态和气态之后的第四态。当外加电压达到气体的放电电压时，气体被分解，产生电子、各种离子、原子和自由基的混合物。虽然在放电过程中电子温度很高，但重粒子的温度很低，整个系统呈现低温状态，因此被称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用废气中这些高能电子、自由基等活性粒子和污染物在极短时间内分解污染物分子，并进行后续反应，达到降解污染物的目的。（注：与高温等离子体相比，低温等离子体在室温下工作。）

在低温等离子体放电过程中，电子从电场中获取能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能。这些分子被激发或电离形成活性基团。同时，空气中的氧和水在高能电子的作用下，也能产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，两个基团发生碰撞后引发一系列复杂的物理化学反应。从活性基团的组成可以看出，等离子体中含有丰富的高化学活性粒子，如电子、离子、自由基和激发分子等。废气中的污染物与这些活性基团发生高能反应，终转化为CO2、H2O等物质，从而达到净化废气的目的。

臭气从集气系统收集后，需要对一部分废气进行预处理。水被除去后，进入等离子体反应区。在高能电子的作用下，气味分子被激发，带电粒子或分子之间的化学键被破坏。同时，空气中的水和氧也会产生OH自由基，活性氧等强氧化物质在高能电子的冲击下也会与气味分子发生反应将其分解，从而促进气味的消除。净化后的气体通过排气管向高空排放。