整个等离子体系统中出现的非平衡态温度虽然很低，所以也叫等离子体温度很低的过程。

如果电子的温度与重粒子的温度相近，则为高温等离子体或平衡等离子体。

低温等离子体中的能量传递大致是：电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为分子的内能和动能。获得能量的分子被激发，同时，一些分子被电离，这些被激活的粒子相互碰撞，导致一系列复杂的物理和化学反应。等离子体中富含大量的活性粒子，如离子、电子、激发原子、分子和自由基等，为等离子体技术通过化学反应处理恶臭物质提供了条件。它是一门以放电物理、放电化学和反应工程为基础的交叉学科。近几十年来，等离子体技术的研究十分活跃，为新材料的合成、新材料的制备和环境污染控制提供了新技术、新方法和新工艺。低温等离子体降解污染物是利用废气中这些高能电子、自由基等活性粒子和污染物在极短时间内分解污染物分子，并进行后续反应，达到降解污染物的目的。但是，无论采用哪种高压放电技术，都是基于高压放电的原理，因此爆炸问题必须充分考虑，特别是在易燃易爆的化学场合。