PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体，采用的射频电源频率为13.56MH，功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高，可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用，对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 主要参数 | ● 射频功率：0-500W |
| 射频电源 | ● 射频功率可在0-500W之间调节 |
| 等离子腔体 | ● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体 |
| 控制面板 | ● 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 |
| 真空泵（选配） | ● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 |
| 通入气体 | ● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） |
| 可选 | ● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 |
| 产品尺寸 | 600mm L×600mm W×810mm H |
| 相关应用 | ● 请自行根据您的应用测试的等离子功率 |
| 质量认证 | CE认证 |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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