PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 主要特点 | ● 拥有6英寸清洗腔室，可清洗约5英寸直径的基片。 |
| 主要参数 | ● 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W |
| 等离子腔室 | ● 高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗 |
| 控制面板 | 控制功能：清洁时间，射频功率，真空泵。 |
| 等离子清洗及刻蚀的方法 | |
| 惰性气体 | ● 通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） |
| 可选配件 | ● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合 ● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片   |
| 外形尺寸 | 400mm×300mm×300mm |
| 净重 | 10.2kg |
| 使用注意事项 | 正压会损坏等离子石英室 |
| 质量认证 | CE认证 |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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