真空喷雾热解涂膜机包含一个软件,用于喷头移动和分配速率的自动化。 由步进电机控制的正排量泵用于根据需要分配溶液。 喷头在基板上喷射精细的雾化溶液,其运动由步进电机驱动的线性平台在X和Y方向控制,以确保均匀涂层。 可以通过改变喷嘴处的压缩气体压力来调节喷雾模式和速度。
喷雾热解是通过在加热的表面上喷射溶液来沉积薄膜的过程,其中组分反应形成化合物。该方法对于氧化物的沉积特别有用,并且长期以来一直是将氧化锡(SnO2)或氧化锡的透明导电体施加到玻璃基板上的制造方法。现在,这种技术越来越多地用于制备钙钛矿薄膜,例如钙钛矿太阳能电池。
真空喷雾热解涂膜机技术参数:
电源输入 | • 单相208 - 240 VAC, 50/60 Hz • 驱动器:步进电机, 24 VDC |
腔室大小 | SS304腔室提供700mm×700mm×800mm的工作空间 |
滴涂器 | • 分配单位容量:50 mL和250 mL(包括两个容器)容器 • 容器分配速率:1-10 mL / min可通过软件调节 • 注射泵分配速率:20μL/ min - 10 mL / min 可通过软件调节
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喷雾器
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| • 包括三个压缩气体喷头以实现多层薄膜涂层 • 每个喷头可用于喷射不同类型的溶液。腔室内的遮蔽盘(翻盖挡板)可以使用旋钮/杠杆从外部移动,用于防止基板在喷头转换期间暴露于液滴。 • 产生平均尺寸为50微米的精细喷雾 • 流体粘度范围:1 - 50 mPa·s(cP) • 喷涂机横移:X - Y 200 mm max • 驱动速度X轴:10-800 mm / sec • 驱动速度Y轴:1-12 mm / sec |
压力调节器和压力表
![]() | • 带有数字压力表的压力调节器安装在机器上,用于准确的气压控制。 • 气体辅助喷雾水溶液的推荐压力:~3 psi |
真空泵
![]() | • 包含带排气过滤器的156 L / m双级旋片式真空泵 • 正常基础压力范围500~600 milibar • 真空泵安装在底柜中 |
熔锡槽加热器 | • 尺寸:150 mm × 150 mm • Max温度:500℃ |
软件
![]() | • 系统控制器盒通过RS232端口和USB适配器连接到笔记本电脑或Surface Pro。 • 集中软件控制分配率,X-Y平台移动,溶液加载和排放。 • 所有过程参数都可以保存为用户过程,稍后检索以进行分析或重新运行。 • 包括一台全新的笔记本电脑或一台带预装软件的Microsoft Surface Pro。 |
保修 | 终身支持一年有限保修(购买前可演示) |
认证 | CE认证 |
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