| 应用范围: | *半导体(Semiconductor) *微机电(MEMS) *被动组件(Passive Component) *触控面板(Touch Panel) *显示器(Display Panel) *发光二极管(LED) |
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| 规格： | *Exposure light source: UV LED (365nm、405nm、436nm) *Substrate Size 2"~8"、8"~12" *Uniformity: ≦5% *Alignment Accuracy: +- 1um *Throughput:≧60 wph |
适用4吋的圆型基版，制程更好、体积更小，寿命更长且曝光精准。
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