CVD金刚石的一个重要性质是它具有的热导率。在室温条件下， 金刚石的热导率是铜的五倍。同时，它本身又是的绝缘材料。因此可以应用金刚石膜制作X射线光源阳极透射靶材, X射线窗口和X射线荧光屏（掺N/B）等。CVD 金刚石光学性质的应用。金刚石在从紫外到远红外的很长波长范围内有很高的光谱通过性能。加上金刚优秀的机械、热学性质，使金刚石薄膜成为可在恶劣环境中使用的的光学窗口材料。
基本参数：
| 类型 | 单晶 / 多晶金刚石 |
| 级别 | 力学级、热学级、光学级、电子学级、纳米晶 |
| 典型尺寸 | 多晶：可在φ120mm的晶圆上切割任意尺寸；单晶：尺寸为7mm*7mm |
| 标准厚度 | 0.01-2mm |
| 表面处理 | Ra<10nm (多晶) Ra<3nm (单晶) |
| 掺杂 | 掺氮适用于高通量光束（1013-1015 photons/s） 掺硼适用于低通量光束，1010-1012 photons/s |
应用案例：
X射线荧光屏
X射线窗口
X射线源透射靶
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