快速退火炉
加热方式:红外卤素钨灯,600W

Halogen Lamp and IR reflective mirror;
卤灯数量:4支;
升温速率:80℃/Second;
降温速率:60秒(1000℃ → 400℃);
温度:1200℃;
温度精度:+/- 1℃
样品尺寸:4英寸、3英寸;
工作环境:真空、引入气体(N2/Ar/O2等)、空气
南京盈波光电科技有限公司
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