超分辨扫描光学显微镜
采用微球技术（SMAL），突破光学衍射极限，实现超分辨（<>
主要应用：
■ 半导体缺陷检测
■ 矿物质纳米光学观测
■ 石墨烯CVD检测
■ 非荧光生物显微
指标参数：
应用图例：
半导体芯片微观结构，线栅间隙100nm。
上海昊量光电设备有限公司
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超分辨扫描光学显微镜
采用微球技术（SMAL），突破光学衍射极限，实现超分辨（<>
主要应用：
■ 半导体缺陷检测
■ 矿物质纳米光学观测
■ 石墨烯CVD检测
■ 非荧光生物显微
指标参数：
应用图例：
半导体芯片微观结构，线栅间隙100nm。
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