4D位置敏感探测器（4D PSD）

分辨率达到纳米级别的4D PSD可独立探测区分光束位置漂移和角度漂移。

 
此4D PSD位敏探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

关键词：PSD，位置探测器，激光位置探测器，位置灵敏探测器，光电位置探测器， 位置敏感探测器，四象限探测器，位置传感探测器，置灵敏探测器，2D PSD，Position Sensitive Detector，激光位置探测器

PSD位敏探测器

                  

此4D PSD位置敏感探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

 
PSD 4D i: PSD位敏探测器（工业级）
Ø 4维测量： 位置 X，Y 和角度 X，Y
Ø 连续光和
(检验光束功率，连续光： 100 μW-10 mW，脉冲：>10 nJ)
Ø 高准确度： < 1="">< 1="">

 
PSD 4D e: PSD位敏探测器（实验级）
Ø  类似 "PSD 4D i"，但是离散元件PSD4D i
Ø  易于适应实验装置和更高的准确度： < 10="">< 10="">

 
PSD 2D:  2DPSD位敏探测器(连续光或脉冲)
Ø  独立使用，或组合成4维PSD使用
Ø  标准波长： 380nm-1100nm
Ø  定制波长： 180 nm-2600 nm

 
PSD紫外增强型晶片组
Ø  升级 PSD 4D 到紫外/极紫外
Ø  PSD晶片组直径 4mm, 10mm


配套产品：

快速反射镜
激光束系统