SID4-UV 紫外/

【SID4-UV分析仪简介】

随着光波波前探测技术的发展，各种波前传感器应运而生。从测量原理上可以分成两类：一类是根据几何光学原理，测定波前几何像差或面型误差，主要有Shack－Hartmann 波前传感器，曲率传感器和Pyramid 波前传感器等；另一类是基于干涉测量原理，探测波前不同部分的干涉性，来获取波前信息，主要有剪切波前传感器和相位获取传感器等。剪切干涉仪波前传感器不需要精确的参考标准镜;它们结构简单，抗干扰能力强，条纹稳定。SID4-UV波前分析仪是测量光学元件和光束波前质量的一种很好的替代传统干涉仪的方法。SID4-UV波前分析仪作为低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，SID4-UV波前分析仪非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。

【关于】

是一家专注于高分辨率传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与的波前测量技术为客户提供全面的高性能。

 一、 SID4-UV波前分析仪/波前传感器主要特点

• 250 x 250超高相位取样分辨率

• 2 nm RMS高相位灵敏度

• 紫外波段波前测量的通用解决方案

                                 非准直光入射                                                                                                      消色差

二、SID4-UV波前传感器/波前分析仪产品应用

• 波前像差测量

基于四波剪切技术，Phasics 的波前传感器同时提供具有的高分辨率的相位和强度测量。 波前传感器与其光束分析软件相结合，可提供完整的激光诊断：波前像差、强度分布、激光参数（M²、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析仪可以放置在光学装置的任何一点，无论光束是准直的还是发散的。作为低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，SID4-UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。

• 测量

SID4系列波前传感器可以配合用户自行搭建的光路系统进行像质评价，只需一次直接拍摄，就可以通过软件后处理测量参数(PSF, MTF, Zernike系数)。如果不能自行搭建光路系统，也可以进一步了解Kaleo Kit 套装等产品测量MTF等产品。

三、SID4-UV波前传感器/波前分析仪应用领域

紫外光学测量| 光刻或半导体应用紫外激光表征| 透镜和晶圆的表面面型检测| | 等离子体密度

四、SID4-UV波前分析有/波前传感器主要规格

五、与夏克-哈特曼波前传感器对比

六、更多参数选型