多角度激光椭偏仪（PH-LE型）专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有*的精确度和准确度。
多角度激光椭偏仪 - 产品特点
■可以测量单晶电池片、多晶电池片
■可以测量抛光片，精确度和准确度*
■可以测量粗糙表面的“绒片”
■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
■配置有高稳定度补偿器，提供zui小的漂移值和zui小的测量误差
■配置有高精度的自动光学对准显微镜
■可进行20°－90°范围内的多角度测量
多角度 - 测量特点
■非破环性检测
■样品准直简单方便
■测量速度快
■可变入射角范围宽
■测量
■软件分析功能强
多角度 - 技术指标
■光源：He-Ne激光器
■光斑直径：1-2mm
■入射角范围：20°到90°,5°/步
■精度：0.002°~ 0.02°
■膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
■折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
■激光光斑：直径1mm
■激光波长632.8 nm
多角度激光椭偏仪 - 产品特点
■可以测量单晶电池片、多晶电池片
■可以测量抛光片，精确度和准确度*
■可以测量粗糙表面的“绒片”
■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
■配置有高稳定度补偿器，提供zui小的漂移值和zui小的测量误差
■配置有高精度的自动光学对准显微镜
■可进行20°－90°范围内的多角度测量
多角度 - 测量特点
■非破环性检测
■样品准直简单方便
■测量速度快
■可变入射角范围宽
■测量
■软件分析功能强
多角度 - 技术指标
■光源：He-Ne激光器
■光斑直径：1-2mm
■入射角范围：20°到90°,5°/步
■精度：0.002°~ 0.02°
■膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
■折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
■激光光斑：直径1mm
■激光波长632.8 nm
多角度 - 典型客户
美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。
详情咨询：
北京合能阳光新能源技术有限公司
北京市通州区工业开发区光华路16号
： -104 -608
：肖
：xiaozongyong@henergysolar.com
公司：http://www.HenergySolar.com
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