流量范围：0.01-30 SLPM 最小流量范围：0.01SLM
韩国莱因泰可( LINE TECH )高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于所有工业，气体混合及分析 ，半导体工业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。产品设计坚固、耐用，且经济。
优 势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（90公斤）
l 量程范围广：0.01SLPM ~ 30SLPM 之间可选/
l 两种输入输出信号：0~5Vdc or 4~20mA 可选
l 两种供电方式：+15Vdc or +24Vdc 可选
l 电气连接： 15 针（D型插头）
l 快速响应时间两种：＜ 1 秒 or ＜2秒 可选
l 高重复性（±0.25%F.S)
l 接头方式多样选择：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″
VCR ： 1/4″
规 格：
| 型号 | M2030VA |
| 流量范围（N2) | 0.01~30 SLPM |
| 响应时间 | ＜1 秒 |
| 精确度 | ±1% |
| 重复精度 | ±0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作压力 | 15 Bar |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
| 控制范围 | 2~99% |
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