- 详细介绍
多晶硅铸锭炉，提纯炉：该装备主要用于多晶硅定向凝固（多晶硅铸锭）实验及制造，也可以用于其他半导体材料提纯。同时可适用于高纯铝提纯用。
该装备可实现熔炼过程在线进行多种物料加料工艺，并可进行物料烧结时骤冷实验。
主要技术参数
熔炼容量：5-30KG
电源功率：50-100KW
升温速率：40℃/Min
炉温均匀性：±5℃
极限真空度：6.67×10-3Pa
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详细介绍多晶硅铸锭炉，提纯炉：该装备主要用于多晶硅定向凝固（多晶硅铸锭）实验及制造，也可以用于其他半导体材料提纯
多晶硅铸锭炉，提纯炉：该装备主要用于多晶硅定向凝固（多晶硅铸锭）实验及制造，也可以用于其他半导体材料提纯。同时可适用于高纯铝提纯用。
该装备可实现熔炼过程在线进行多种物料加料工艺，并可进行物料烧结时骤冷实验。
主要技术参数
熔炼容量：5-30KG
电源功率：50-100KW
升温速率：40℃/Min
炉温均匀性：±5℃
极限真空度：6.67×10-3Pa
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