RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备可以用于金属电极合金化、硬质合金薄膜去应力退火、石墨烯生长、器件退火RTP、材料再结晶、晶化、热氧化RTO、热氮化RTN、ITO膜致密化、应用于超净间、薄膜CVD生长、搭载电学测试模块变温电阻测量、等离子注入/接触退火、太阳能电池片键合、低介电材料热处理。
产品技术参数
| 型号 | RTP-3-01系列 |
| 温度 | 1200℃ |
| 升温速率 | 50℃/s |
| 温度均匀性 | ≦1%设定温度 |
| 温度控制 | 选用工业级温控器，控温精度±0.1℃ |
| 温度传感器 | 标准K型热电偶 |
| 降温速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷却） |
| 样品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
| 主机尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
| 主机重量 | 20.5kg |
RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备 产品特点：
快速加热和降温: 可控升温速率可达50 ℃/s，特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达30 ℃/s。
精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，真空度可达10-3Pa。
配备观察窗口: 通过观察窗口，可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时，可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统，多方位保障仪器使用安全。
●国产退火炉：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求。
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