1、设备概况：

主要功能：本设备主要采用手动搬运方式，通过对扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管腐蚀、漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的清洗效果。主体采用德国劳士领 瓷白PP板，骨架采用不锈钢 外包PP 防腐板；

设备名称：半自动石英管清洗机

设备型号：-SC-N401

整机尺寸(参考)：4500mm*1500mm*2100mm；

被清洗炉管尺寸（Max）：也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物

设备形式:室内放置型;

节拍：约1--12小时（节拍可调根据实际工艺时间而定）

操作形式：半自动

2、设备描述：

此装置是一个半自动的处理设备。

PROFACE 8.0英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作

清洗工作过程由三菱 / 欧姆龙PLC控制。

3、设备特点：

腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

技术,结构合理,适宜生产线上大批次操作;

结合华林科纳公司全体同仁之力,多年品质保障,使其各部分远远同类产品;

设备上层电器控制系统及抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区，主体结构由清洗机主体、酸洗槽、水清洗槽、防漏盘、抽风系统、工件滚动系统、氮气鼓泡系统、支撑及旋转驱动机构、管路部分、电控部分。

本设备装有双防漏盘结构，并有防漏检测报警系统，在整台设备的底部装有接液盘。

设备配有在槽体下方配有倾斜式防漏层。

4、工艺流程：

检查水、电、气正常→启动电源→人工上料→注酸→槽体底部氮气鼓泡→石英管转动（7转/min）→进入酸泡程序→自动排酸(到储酸箱)→槽体底部自动注水（同时气动碟阀关闭）→悬浮颗粒物经过溢流坝流出→排水碟阀打开（重颗粒杂质排出）→初级洁净水经过溢流坝溢出→清洗次数重复循环（人工控制）→下料。

酸洗和水洗在同一槽内完成

1#，2#可通过循环泵循环使用

5、台面布局如下：

6、各槽工艺参数：

7、设备可靠性保障措施：

系统结构采用国外典型处理方法,保证系统结构的合理性和适应性；

结构采用洁净化处理技术,可达到国外同类产品水平；

采用国外引进元器件及专业厂家产品；

国产元器件采用国内专业厂家生产和经证实质量优质的高性能元件；

设计、生产、制造采用 ISO9001 和质量管理体系保证；

设备的生产加工除下料、焊接在普通厂房内进行外，装配、调试等工序都在万级超净间内进行；

所有零部件在进入万级超净间前均进行清洗；

设备出厂前都经过严格的渗漏检查；

半导体石英管