设备概况：（仅做参考）

主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对硅片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。
设备名称：KOH Etch刻蚀清洗机 设备型号：-SC-NZD254
整机尺寸(参考)：自动设备约2500mm（L）×1800mm(W)×2400mm(H)；
被清洗硅片尺寸： 2--6寸（25片/篮）
设备形式:室内放置型;
操作形式：手动

各槽位主要技术工艺：

设备组成：
该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成
设备走向：方案图按 “左进右出"方式，另可按要求设计“右进左出"方式；
设备描述：
此装置是一个全自动的处理设备。
8.0英寸大型触摸屏(PROFACE/OMRON)显示 / 检测 / 操作
每个槽前上方对应操作按钮，与触摸屏互相配合
主体材料：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
台面板为德国10mm PP板；
DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足18M去离子水水质要求，酸碱管路材质为进口PFA/PVDF；
采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成;
排风：位于机台后上部
工作照明：上方防酸照明
三菱、欧姆龙 PLC控制。
安全考虑：
设有EMO(急停装置)，
强电弱点隔离
所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
电控箱正压装置（CDA Purge）
设备三层防漏 楼盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内
排放管路加过滤装置
所有槽体折弯成型，可有效避免死角颗粒;

化学品相关湿法腐蚀相关设备（KOH腐蚀刻蚀机、RCA清洗机、去胶机、外延片清洗机、酸碱腐蚀机、显影机等）以及干燥设备（马兰戈尼干燥机Marangoni、单腔甩干机、双腔甩干机），,.