产品简介:本公司所售靶头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
靶头种类
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直、折靶 | 方靶 | 自转转靶 |
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公、自转转靶 | 多弧溅射弧源 |
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沈阳科晶设备制造有限公司
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产品简介:本公司所售靶头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
靶头种类
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