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Covap 高真空镀膜仪

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具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:其它五金配件
  • 所在地:北京市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2025-01-13 06:12:31
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产品简介

镀膜机要求为PLC控制,包括蒸镀过程的控制、显示装置,可以显示膜厚、蒸镀时间、压力、加热温度等信息

详情介绍

镀膜机要求为PLC控制,包括蒸镀过程的控制、显示装置,可以显示膜厚、蒸镀时间、压力、加热温度等信息;

一、真空镀膜机技术参数:

    镀膜机要求为PLC控制,包括蒸镀过程的控制、显示装置,可以显示膜厚、蒸镀时间、压力、加热温度等信息;

   1. 系统设置和控制系统:

      1.1 通过PLC进行设置和控制;

      1.2 安全性能设计符合CSA SPE-1000标准;

      1.3 设有手动和自动两种镀膜操作模式;

      1.4 系统集成有安全互锁机构和报警装置;

      * 1.5 一体化、紧凑化设计,可独立使用也可与手套箱集成后使用;

      1.6 不同账户的安全模式。

2 蒸镀腔室:

     2.1 矩形蒸镀腔室,尺寸不小于450mmx365mmx365mm

     2.2 翻盖式方腔室结构;

     2.3 腔室抛光处理并安装有隔离墙装置;

3 真空系统:

      3.1 DS102机械泵,气体抽速不低于4cfm

      * 3.2 主泵普发分子泵,抽速不低于250l/s,配有Inficon Pirani真空规及计算机控制显示功能;

      * 3.3 极限真空度:系统洁净、空置时可达5x10-7Torr

4.蒸发源的设计和安装:

       4.1 系统安装有4个热阻蒸发源;

       4.2 可以实现两个热阻蒸发源之间的共蒸;

      *4.3 热阻蒸发源的电源功率不小于2.5kW

       4.4安装有2QCM镀膜速率检测探头,带有水冷装置;

       4.5安装有1个样品台挡板;

5 样品台的设计:

      5.1可以固定或安装直径100mm4"的样品或其它异形样品;

      5.2样品台带有可以固定安装样品的装置;

      5.3 样品台带有旋转功能,可调节范围0-50RPM

6 镀膜控制装置:

      * 6.1 镀膜操作分手动和自动两种模式,能预设参数,并能将相关操作进行储存,方便以后查询和调用,也可以导到电脑中进行保存。

     6.2镀膜控制器,可多元化设计的共蒸功能;

     6.3 SQS-310CInficon镀膜控制软件;

     6.4通过PLC进行控制。

     6.5主要技术要求:膜厚探测精度0.1Ǻ,镀膜沉积速率控制理论精度0./s,薄膜沉积速率稳定性在1%之内,膜厚不均匀性≤ +/-5%

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