Microchem Su-8 3000系列 光刻胶 旋涂曲线：
Microchem Su-8 3000系列 光刻胶 规格说明：
Microchem SU-8 3000系列 说明书.pdf
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【Microchem Su-8 3000系列 光刻胶】是高对比度、环氧基负性光刻胶，专为微电子领域的应用而设计。SU-8 3000是SU-8 2000的改进配方，多年来一直被MEMS制造商广泛使用。SU-8 3000通过改进配方，提高了胶膜在基片上的附着力并降低了涂层的应力。SU-8 3000的粘度范围使其在单涂层中可以形成4 - 120 m的膜厚。SU-8 3000具有出色的成像特性，能够产生非常高的、甚至超过5:1的纵横比结构。SU-8 3000在360 nm以上具有非常高的光透射率，这使其适合在非常厚的薄膜中形成近似垂直侧壁的结构。
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