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新耕（上海）贸易有限公司

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NGR3550 ---电子束缺陷检测及图形测量分析系统

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号：
  • 品牌：
  • 产品类别：电子海图系统
  • 所在地：上海
  • 信息完整度：
  • 样本：
  • 更新时间：2025-02-01 13:14:58
  • 浏览次数：2
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产品简介

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设备简介

1.NGR是半导体业界的专注于电子束缺陷检测，大规模几何图形测量分析判断系统。
2.NGR3550是新一代高分辨率型号

应用及特点

1.一套设备包含CD-SEM，SEM-Review 和 defect review 功能，同时进行检测和量测
2.超大视野数据收集（70um*70um FOV）
3.高分辨率，可支持10nm以下工艺节点
4.数据分析采用Die to database模式，直接与原始设计图形进行对比，大大提高分析的准确性和分析速度
5.适用于OPC的工艺管控，大大加快光罩研发修正速度
6.适用于YE的缺陷工艺管控
7.OPC应用超过90%的（Tier 1客户）

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