超纯水制造历史进程：
阶段：预处理过滤器——>阳床——>阴床——>混合床
第二阶段：预处理过滤器——>反渗透——>混合床
目前阶段：预处理过滤器——>反渗透——>EDI（无需酸碱）
阶段：预处理过滤器——>阳床——>阴床——>混合床
第二阶段：预处理过滤器——>反渗透——>混合床
目前阶段：预处理过滤器——>反渗透——>EDI（无需酸碱）
应用领域：
1、 医药、制药、血液透析用水；
2、 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品；
3、 超纯材料和超纯化学试剂；
4、 实验室和中试车间；
5、 汽车、家电表面抛光处理；
6、 光电子产品；
7、 微电子产品、显象管制造业；
8、 蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池；
9、 其他高科技精微产品；
出水水质：
符合美国ASTM标准、符合中国电子部超纯水水质标准
（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm）
规格参数：
| 项目 型号 | EDI-6 | EDI-11 | EDI-23 | EDI-34 | EDI-45 | EDI-68 |
| 水量（m3/h） | 6 | 11 | 23 | 34 | 45 | 68 |
| 膜组数目 | 1-2 | 2-4 | 4-8 | 6-12 | 8-16 | 12-24 |
| 管径 | 1.5" | 2" | 3" | 4" | 4" | 6" |
| 配管材料 | SCH#80/UPVC管 | |||||
| 外形尺寸W*D*H | 198*107*183 | 137*234*213 | 315*151*213 | 174*404*213 | 183*251*334 | 213*259*425 |
| 产水水质 | ≥10-15MQ.cm | |||||
| 回收率 | 90-95% | |||||
| 进水要求 | | |||||
| TEA（含CO2） | ＜25mg/L as CaCO3 | PH | 5-9 | |||
| 硬度 | ＜1mg/L as CaCO3 | 硅 | ＜0.5mg/L | |||
| TOC | ＜0.5mg/L | 进水压力 | 30-100PSI | |||
| 温度 | 5-43°C | 余氯 | ＜0.05mg/L | |||
| Fe ,Mn,H2S | ＜0.01mg/L | |||||
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