工作处理流程 ：
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
技术参数
| 电极配置和气体流量 | |
| 保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 | |
| 通过强力排气及消除污染，消除残留物 | |
| 射频发生器 | |
| 频率 | 13.56Hz |
| 输出功率 | １０００W Max |
| 配备自动匹配系统以大限度地减少反射功率 | |
| 真空系统 | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 | |
| 射频发生器互锁 | |
| 室门关闭检测 | |
| 安全玻璃检查观点 | |
| 电磁辐射抑制 | |
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工作处理流程：自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载技术参数电极配置和气体流量保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统通过强力排气及消除污染
工作处理流程 ：
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
| 电极配置和气体流量 | |
| 保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 | |
| 通过强力排气及消除污染，消除残留物 | |
| 射频发生器 | |
| 频率 | 13.56Hz |
| 输出功率 | １０００W Max |
| 配备自动匹配系统以大限度地减少反射功率 | |
| 真空系统 | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 | |
| 射频发生器互锁 | |
| 室门关闭检测 | |
| 安全玻璃检查观点 | |
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